二硅化钽

产品概述

二硅化钽（Tantalum disilicide），CAS 登记号 12039-79-1，又名硅化钽。分子式 TaSi₂，分子量 237.12。本品为灰色粉末，属难熔金属硅化物，兼具类金属导电性与陶瓷的高温稳定性。产品纯度覆盖 99.9% 与 99.99% 高纯试剂级，可按需提供不同粒度，包装规格 2 g 至 200 kg，广泛用于集成电路与高温结构材料制造。

理化性质

分子式为 TaSi₂，分子量 237.12。外观为灰色粉末，晶体属六方晶系，密度 9.14 g/cm³（25 ℃），熔点 2200 ℃。该品电阻率约 8.5 μΩ·cm，热导率约 37 W/(m·K)，显微硬度约 1407 kg/mm²，具金属光泽与类金属导电性。它不溶于水，水解敏感性为 1 级，对水系环境无明显反应，但可被熔融镍等金属侵蚀。在高温下抗氧化，与硅、碳等基体材料具有良好的相容性。储存须置于阴凉、通风的库房并保持容器密闭。此外，该体系还存在 Ta₅Si₃（CAS 12067-56-0）等同系物。

质量规格

运输信息

本品 GHS 分类为刺激性物质（GHS07），信号词警告，危险信息 H302 吞咽有害、H315 造成皮肤刺激、H319 造成严重眼刺激、H335 可能引起呼吸道刺激，防范提示 P261 避免吸入粉尘、P305+P351+P338 入眼后用水冲洗。德国水危害等级 WGK 3。该品为高熔点惰性固体，公开数据库未列载其联合国危险货物编号，运输按一般化学品处理。作业时佩戴防尘面具、护目镜与防护手套。泄漏物避免扬尘，用工具收集后密闭存放，不得排入水体。

用途与存储

本品是微电子与高温结构领域的关键材料。在集成电路领域，它作为溅射靶材用于制备低电阻栅极、内连线与欧姆接触层，其与硅材料优良的相容性使之适用于肖特基势垒与互连结构。在复合材料领域，它用于制备氮化硅-硅化钽复合陶瓷，在长期工作过程中保持良好力学性能，并作为高性能硅基电极材料使用。在高温防护领域，它作为抗氧化涂层用于电热元件、高温结构部件与飞行器表面，可在苛刻环境下服役。在陶瓷与能源领域，它用于制备陶瓷材料，服务于热防护系统与高温导电部件。储存须在阴凉、通风、密闭防潮条件下进行，与强氧化剂、强酸分开存放。剩余物料按金属硅化物废料统一回收处置。