三氯硅烷

一、产品别名

中文别名：三氯氢硅, 硅氯仿
英文别名：Trichlorosilane, Silicochloroform

二、产品基础信息

CAS号：10025-78-2
分子式：Cl3HSi
分子量：135.45
纯度：≥99%
包装规格：100mL, 500mL, 2.5L, 钢瓶

三、主要用途

三氯硅烷是制造多晶硅和有机硅化合物的重要中间体，主要用于制备硅烷偶联剂、高分子有机硅材料，也是半导体工业中化学气相沉积（CVD）的关键原料，广泛应用于电子、光伏和化工领域。

四、运输储存与操作安全要求

本品属于极度易燃、腐蚀性危险化学品，遇水剧烈反应产生氯化氢气体。应储存于阴凉、干燥的库房，远离火源、热源和潮湿环境。操作需在氮气保护或干燥环境中进行，使用防爆设备，工作人员必须穿戴防酸碱手套、护目镜和防护服。运输时应防撞击、防潮，严禁与氧化剂、碱类混运。